معرفی روش رسوب فیزیکی بخار برای ساخت قطعات مدار مجتمع

چکیده

رسوب شیمایی بخار و رسوب فیزیکی بخار روشهای کاربردی در کلیه علوم هستند که با توجه به گسترش فناوریها و مخصوصاً صنایع الکترونیک و مدارهای مجتمع، به کارگیری این روشهای بخار به صورت فراوان در ساخت قطعات نیمه هادی می باشد. در این گزارش به صورت مختصر به رسوب شیمیایی بخار پرداخته شده است.