“معرفی روش رسوب فیزیکی بخار برای ساخت قطعات مدار مجتمع”, کهربا, vol. 5, no. 20, pp. 28–31, Jun. 1397, Accessed: Nov. 13, 2026. [Online]. Available: https://kahrobaonline.ir/article/view/207