معرفی روش رسوب فیزیکی بخار برای ساخت قطعات مدار مجتمع. مجله کهربا, [S. l.], v. 5, n. 20, p. 28–31, 1397. Disponível em: https://kahrobaonline.ir/article/view/207. Acesso em: 13 nov. 2026.